高壓雙軸心泵浦 CP-01
高壓雙軸心泵浦介紹
使用制程 ：
黃光洗淨制程、
Etch洗淨制程、
Bumping洗淨制程。
Single wafer 洗淨
Pump功能說明：
Sensor驅動電磁閥供應氣源切換，將液體（如超純水. 去光阻液等）加壓輸出，使用相對安全。
自主研發雙軸心Pump，可維持穩定的壓力輸出、較單軸心Pump使用壽命長，可避免損壞時造成壓力輸出完全失效，少量漏液狀態下能有效保持壓力。
| 雙軸心Pump | 優點說明 |
|---|---|
| 水準設置安裝容易。
|
雙軸心規格書-50倍
| No. | 項目 | 規格 |
|---|---|---|
| 1 | 溫度 | 0~50度C / 0~90度C/工作溫度80度 |
| 2 | 最高輸出壓力 | 3000PSI |
| 3 | 最高驅動壓力 | 0.5 MPa |
| 4 | 最低驅動壓力 | 0.1 MPa |
| 5 | AIR IN | 3/8“PT，螺牙 |
| 6 | AIR OUT | 3/8“PT，螺牙 |
| 7 | PUMP IN | 1/4“SUS316 TUBE 卡套接頭 |
| 8 | PUMP OUT | 1/4“SUS316 TUBE卡套接頭 |
| 9 | 輸出體積 | 50C.C |
| 10 | 電源 | DC24V |
| 11 | STROKE SENSOR | NPN三線 DC24V |
| 12 | 驅動氣源數量 | 2 |
雙軸心規格書-34倍
| No. | 項目 | 規格 |
|---|---|---|
| 1 | 溫度 | 0~50度C / 0~90度C/工作溫度80度 |
| 2 | 最高輸出壓力 | 2400PSI |
| 3 | 最高驅動壓力 | 0.5 MPa |
| 4 | 最低驅動壓力 | 0.1 MPa |
| 5 | AIR IN | 3/8“PT，螺牙 |
| 6 | AIR OUT | 3/8“PT，螺牙 |
| 7 | PUMP IN | 1/4“SUS316 TUBE 卡套接頭 |
| 8 | PUMP OUT | 1/4“SUS316 TUBE卡套接頭 |
| 9 | 輸出體積 | 50C.C |
| 10 | 電源 | DC24V |
| 11 | STROKE SENSOR | NPN三線 DC24V |
| 12 | 驅動氣源數量 | 2 |