感測器

SOLUTION

專案名稱	客戶需求	使用製程	目的	改善後功能
溫度流量監控案例	監控設備用水的溫度及流量	TF / DF-IMP	監控設備用水的溫度及流量	改善製程使用的水溫度及流量穩定
溫度及水阻監控	監控機台 chamber 內 wafer 溫度變化及 chiller 水質變化(水阻值) 。	PVD	監控機台 wafer 溫度及水阻變化	1. 每批 wafer 溫度監測 2. 即時預警偵測冷卻循環水質不穩可能造成的 process issue 。
製程中 real time wafer 溫度監控	In line 監控機台內部 wafer 受熱溫度變化。	TF-PVD	取代 TC wafer, 即時監控製程中 wafer 的收熱溫度變化。	Real time 的 wafer 溫度 monitor 並上傳傳客戶 FDC, 有效降低 wafer 報廢率
KZ300 程式處理專案	KZ 300 based 的機台可以復機使用	ETCH	解決客戶機台無法使用問題	將舊型程式進行優化處理，以利客戶進行復機使用
超音波流量計
監控顯影液	黃光	控制流量及確認累積使用流量	有效控制使用量減少不良率及降低 cost
監控 chiller 水是否正常循環	DF、IMP	確認循環水是否正常作動	控制製程穩定度
監控光阻液	黃光	確認光阻量是否精準	改善良率
監控蝕刻液	ETCH	監控使用蝕刻液	避免報廢發生，降低 cost
電流監控系統	確認馬達狀態	各段製程	監控馬達老化及異常狀況	可以監控馬達三相電流數值，提前預警馬達老化問題可設定電流警報上下限範圍
震動儀監控
監控 PUMP 穩定度	各段製程	監控 pump 狀態以利 overhaul	提前預警 pump 老化及提供客戶 pump overhaul 時間參考
監控馬達震動狀態	各段製程	監控馬達老化及異常狀況	監控馬達老化
監控轉盤震動	IMP	確認轉盤震動是否穩定	改善 wafer 因為震動過大造成滑片
監控脫乾機馬達	ETCH	確認馬達動作狀態是否正常	改善 wafer 破片異常